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<p>실시예들은 진동-제어되는 로봇 장치를 개시한다. 장치는, 기판을 운송하도록 동작가능한 엔드 이펙터(end effector)를 갖는 로봇, 로봇에 커플링된 센서 ― 센서는, 로봇이 기판을 운송할 때, 진동을 감지하도록 동작가능함 ―, 및 기판을 지지하는 엔드 이펙터의 진동을 감소시키도록 로봇을 동작시키는 것을 포함한다. 몇몇 실시예들에서, 엔드 이펙터의 원하지 않는 진동을 야기하는 하나 또는 그 초과의 주파수들을 필터링하기 위해, 모터 구동 회로에 필터가 제공된다. 진동 제어 시스템들 및 진동 제어 시스템들을 동작시키는 방법들이 다른 양상들로서 제공된다.</p> |
