| 发明名称 |
SPUTTERING TARGET HAVING INCREASED LIFE AND SPUTTERING UNIFORMITY |
| 摘要 |
<p>스퍼터링 챔버용 스퍼터링 타겟은 그 위에 장착된 스퍼터링 판을 구비한 지지판을 포함한다. 일 실시예에서, 지지판은 고리형 그루브를 포함하는 전면을 가지는 원형판을 포함한다. 스퍼터링 판은 스퍼터링 표면 및 원형 릿지를 가지는 후측면을 포함하며 원형 릿지는 지지판의 고리형 그루브로 조립되는 형상 및 크기를 가진다.</p> |
| 申请公布号 |
KR20150091435(A) |
申请公布日期 |
2015.08.10 |
| 申请号 |
KR20157020773 |
申请日期 |
2008.06.18 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
ALLEN ADOLPH MILLER;YOON KI HWAN;GUO TED;YANG HONG S.;YU, SANG HO |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/54 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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