摘要 |
<p>실시예에 따른 태양전지의 제조방법은 기판 상에 서로 이격되어 배치된 복수개의 후면전극 패턴을 형성하는 단계; 상기 후면전극 패턴이 배치된 상기 기판 상에 광 흡수층을 형성하는 단계; 제1팁을 이용한 제1스크라이빙(scribing) 공정을 진행하여, 상기 광 흡수층을 관통하는 콘택패턴을 형성하는 단계; 제2팁을 이용한 제2스크라이빙 공정을 진행하여, 상기 제1스크라이빙 공정시 발생된 불순물을 제거하는 단계; 상기 광 흡수층 상에 전면전극을 형성하는 단계; 및 상기 전면전극 및 광 흡수층에 단위셀로 나누기 위한 분리패턴을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 전면전극은 상기 콘택패턴 내에 삽입되어 상기 후면전극 패턴과 전기적으로 연결되는 것을 포함한다. 실시예에 따른 팁은 지지부 및 접촉부가 결합되어 형성되며, 상기 지지부와 접촉부의 폭이 동일하거나, 상기 접촉부의 폭이 지지부보다 크게 형성된 것을 포함하며, 상기 접촉부의 바닥면은 평면인 것을 포함한다.</p> |