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<p>폴리머, 금속, 또는 유리 기판의 표면 처리를 위한 유전체 장벽 방전 반응기가 제공된다. 유전체 장벽 방전 반응기는 반응기 내부 공간을 형성하며 각자의 유전체로 둘러싸인 복수의 구동 전극과, 복수의 구동 전극과의 사이에 반응기 외부 공간을 형성하며 피처리 기판을 지지하는 접지 전극을 포함한다. 복수의 구동 전극 중 적어도 두 개의 구동 전극은 서로 반대 극성의 바이폴라 펄스 전압을 인가 받으며, 반응기 외부 공간보다 반응기 내부 공간에서 플라즈마 방전이 먼저 개시된다.</p> |
