Sensorstrukturen, -systeme und -verfahren mit verbesserter Integration und optimierter Standfläche

摘要

Ausführungsformen betreffen Sensoren und insbesondere Strukturen für und Verfahren zum Ausbilden von Sensoren, die leichter als integrierte Bauteile herzustellen sind und verbesserte Beugung einer Sensormembran, -lamelle oder eines anderen beweglichen Elements vorsehen. In Ausführungsformen weist ein Sensor eine Stützstruktur für eine Lamelle, Membran oder ein anderes bewegliches Element auf. Die Stützstruktur weist mehrere Stützelemente auf, die das bewegliche Element halten oder tragen. Die Stützelemente können einzelne zylindrische Punkte oder fußähnliche Elemente mit geraden oder konkaven Seitenwänden anstelle eines herkömmlichen Verbundrahmens aufweisen, die neben anderen Vorzügen verbesserte Bewegung des beweglichen Elements, leichteres Abtragen einer Opferschicht zwischen dem beweglichen Element und dem Substrat während der Herstellung und ein günstigeres Beugungsverhältnis ermöglichen.