| 摘要 |
<p>기준 마크를 이용하여 피검출체의 위치를 계측하는 위치 계측 장치는, 제1 파장 대역의 광을 사출하는 광원으로부터의 계측 광을 이용하여 상기 피검출체를 조명하도록 구성된 제1 조명 광학계, 제2 파장 대역의 기준 광을 이용하여 기준 마크를 조명하도록 구성된 제2 조명 광학계, 및 피검출체로부터의 광 및 기준 마크로부터의 광을 검출하고, 그 검출 결과에 기초하여 피검출체의 위치를 구하도록 구성된 위치 계측 유닛을 포함하고, 기준 광의 제2 파장 대역은 광원으로부터의 계측 광의 제1 파장 대역의 상한과 하한 사이에 설정된다.</p> |
