Sealing apparatus of manufacturing equipment for vacuum window
摘要
<p>진공창 제조 설비용 봉구 장치에 관해 기술된다. 봉구 장치:는 진공창이 위치하는 진공 영역에 연결되는 진공 하우징; 상기 진공 하우징 내에 위치하는 것으로 상기 진공창으로 공급되는 다수의 덮개를 수용하는 카트리지; 상기 카트리지로부터 공급된 덮개를 상기 진공창의 배기공으로 이송하는 덮개 이송 장치; 그리고 자력에 의해 상기 카트리지로부터 덮개를 픽업하여 상기 덮개 이송 장치에 안착시키는 덮개 픽업 장치; 를 구비한다.</p>
