| 摘要 |
<p>テスト装置とテストサンプルとの間の電気接続を確立するための多点(multipoint)プローブであって、上面を規定するベースと、上面に設けられた複数の配線(trace)とを備える。各配線は、テストサンプルとの電気接続を確立するために、コンタクトパッドおよびコンタクト電極を個別に相互接続する。各配線は、コンタクトパッドと接続された幅広部分と、コンタクト電極と接続された幅狭部分とを備える。第１上面は、個々の幅広部分において近接する配線ペアをそれぞれ相互接続する第１中間面と、個々の幅狭部分において近接する配線ペアをそれぞれ相互接続する第２中間面とを含む。第１中間面は、第１レベルに設けられる。第２中間面は、ベースに対して第１レベルの上方にある第２レベルに設けられる。</p> |
