| 摘要 |
<p>Plasmaversorgungseinrichtung (10) mit einer an eine Leistungsgleichstromversorgung angeschlossenen Vollbrückenschaltung (11), die zwei Halbbrücken (14, 17) mit jeweils zwei in Serie geschalteten Schaltelementen (15, 16, 18, 19) aufweist, wobei an Mittelpunkte (M1, M2) der Halbbrücken (14, 17) zwischen den Schaltelementen (15, 16, 18, 19) eine Primärwicklung (20) eines Leistungsübertragers (21) angeschlossen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Primärwicklung (20) eine Anzapfung (25) aufweist, an die ein Potential angeschlossen ist, das zwischen den beiden Potentialen der Leistungsgleichstromversorgung liegt.</p> |
