Maßstabsermittlung einer diffraktiven optischen Struktur

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ermitteln eines Maßstabs einer diffraktiven optischen Struktur. Das Verfahren umfasst ein Erzeugen einer Strahlung, und ein Bestrahlen einer optischen Anordnung mit der Strahlung. Die optische Anordnung weist die diffraktive optische Struktur und einen der diffraktiven optischen Struktur nachgeordneten Retroreflektor auf. Die diffraktive optische Struktur weist mehrere Beugungsbereiche auf, mit deren Hilfe durch Beugen der Strahlung mehrere und in unterschiedlicher Weise an der optischen Anordnung reflektierte Strahlungsteile bereitgestellt werden. Das Verfahren umfasst des Weiteren ein Erfassen der Strahlungsrichtungen der an der optischen Anordnung reflektierten Strahlungsteile und ein Erfassen der Wellenlänge der Strahlung. Der Maßstab der diffraktiven optischen Struktur wird auf der Grundlage der erfassten Strahlungsrichtungen und der erfassten Wellenlänge ermittelt. Die Erfindung betrifft des Weiteren eine Vorrichtung zum Ermitteln eines Maßstabs einer diffraktiven optischen Struktur, ein Verfahren zum Ermitteln einer Längenänderung eines Elements und ein Verfahren zum Ermitteln einer Temperatur eines Elements.