Elektronisches System und Verfahren zum Herstellen eines elektronischen Systems

摘要

Die Erfindung betrifft ein elektronisches System, mit einem mikromechanischen oder mikroelektronischen Bauteil (10), einem Substrat (12) zur Aufnahme des mikromechanischen oder mikroelektronischen Bauteils (10), zumindest einem das Substrat (12) kontaktierenden Kontaktbereich (14) zur Kontaktierung einer Wärmequelle, und einem ersten thermischen Energiespeicher (16), welcher den zumindest einen Kontaktbereich (14) und das mikromechanische oder mikroelektronischen Bauteil (10) thermisch koppelt. Die Erfindung betrifft des Weiteren ein Verfahren zum Herstellen eines elektronischen Systems, einen Sensor sowie ein Sensorsystem.