| 摘要 |
<p>본 발명은 반도체 디바이스 제조공정시 디바이스의 표면에 인식기호를 마킹하기 위한 반도체 디바이스용 잉크젯 마킹 장치에 관한 것이다.본 발명의 반도체 디바이스용 잉크젯 마킹 장치는 피가공물인 디바이스들을 빈 지그트레이(101)로 이동시키는 제1인덱스(110);상기 제1인덱스를 통해 디바이스들이 안착된 지그트레이를 후속공정으로 이송시키는 제1트랜스퍼(120);상기 지그트레이를 제1트랜스퍼로부터 픽업하는 제1이동픽커(140);상기 제1이동픽커로부터 지그트레이를 공급받아 지그트레이(101)에 놓여진 디바이스를 세정하는 플라즈마 세정기(150);상기 플라즈마 세정기로부터 세정이 완료된 지그트레이를 픽업하는 제2이동픽커(155);상기 제2이동픽커로부터 지그트레이를 공급받아 디바이스들의 표면에 잉크를 분사하여 마킹기호를 인쇄하는 잉크젯헤드(160); 및상기 제1인덱스측으로 피가공물인 디바이스들을 운반트레이에 담긴 상태로 이동시켜 주는 제2트랜스퍼(125)를 포함하여 구성된다.</p> |
