インターフェース部分を有するマルチブロックスパッタリングターゲット、ならびに関連方法および物品

摘要

少なくとも２つの圧密化されたブロックと、少なくとも２つの圧密化されたブロック間の接合とを含むスパッタリングターゲットであって、各ブロックが第１の金属（例えば、約３０重量％より多い量のモリブデンなどの耐火性金属）および少なくとも１種の追加の合金成分を含む合金を含み、接合が、添加された遊離した粉末結合剤の拡散接着から誘導されるいずれかの微細構造を含まないで調製されるスパッタリングターゲット。ターゲットを製造するためのプロセスは、加圧前、圧密化された粉末金属ブロック間に、少なくとも１つの連続固体インターフェース部分を入した圧密化されたプレフォームブロックを、熱間等方圧加圧（例えば、１０８０℃の温度以下で）するステップを含む。少なくとも１つの連続固体インターフェース部分は、コールドスプレー体を含み得、これは、ブロック、焼結プレフォーム、圧縮された粉末体（例えば、タイル）、またはそれらのいずれかの組み合わせの表面上にコールドスプレー析出された粉末の密集体であり得る。【選択図】図２