| 摘要 |
<p>Korrektureinrichtung zur Korrektur der sphärischen Aberration zur Verwendung in einem Elektronenmikroskop, mit•zwei mehrpoligen Elementen (8, 9)•zwei axialsymmetrischen Linsen (10, 11), die zwischen den beiden mehrpoligen Elementen angeordnet sind, gekennzeichnet durch eine Drehkorrekturlinse (12), die in der Brennebene einer Elektronenbahn angeordnet ist, die zwischen den axialsymmetrischen Linsen (10, 11) verläuft, wobei die Drehkorrekturlinse (12) zur Korrektur der Drehbeziehung in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse zwischen den mehrpoligen Elementen (8, 9) die Elektronen in dieser Ebene dreht.</p> |
