| 摘要 |
<p>Optischer Codierer, der eine Skala, auf der ein Skalengitter vom Reflexionstyp in Messachsenrichtung ausgebildet ist, und einen Sensorkopf zum Abfühlen der Skala umfasst, wobei der Sensorkopf so angeordnet ist, dass er entlang der Messachse relativ beweglich ist, bei dem der Sensorkopf umfasst: ein transparentes Substrat; eine Vielzahl von Licht aufnehmenden Bereichen, die auf dem transparenten Substrat angeordnet sind, um entsprechend Versetzungssignale mit unterschiedlicher Phase auszugeben, wobei jeder der Licht aufnehmenden Bereiche eine Vielzahl von Licht aufnehmenden Einrichtungen aufweist, die in Messachsenrichtung angeordnet sind, um ein Versetzungssignal mit gleicher Phase auszugeben; und Gittermaßstäbe, die zwischen den Licht aufnehmenden Bereichen auf dem transparenten Substrat angeordnet sind, um das Beleuchtungslicht für die Skala zu modulieren; wobei jeder der Licht aufnehmenden Bereiche folgendes umfasst: eine gemeinsame transparente Elektrode, die auf einer Vorderseite des transparenten Substrats ausgebildet ist, wobei die Rückseite der Skala gegenüberliegt; Halbleiterschichten, die auf der gemeinsamen transparenten Elektrode ausgebildet und angeordnet sind, wobei jede der Halbleiterschichten ein lichtempfindliches Gebiet beinhaltet; auf den jeweiligen Halbleiterschichten ausgebildete Metallelektroden; und eine Ausgangssignalleitung, die für die Metallelektroden einen gemeinsamen Anschluss herstellt; wobei die Gittermaßstäbe durch Gestalten desselben Materialfilms ausgebildet werden, der entweder als Metallelektrode der Licht aufnehmenden Bereiche oder als Ausgangssignalleitung dient.</p> |
