| 摘要 |
<p>Schleuderbeschichtungsvorrichtung zum Bilden eines Beschichtungsfilms (12) auf einem viereckigen Substrat (G) für ein Retikel durch Schleuderbeschichtung, durch Zuführen einer Beschichtungslösung, die ein Lösungsmittel enthält, auf das viereckige Substrat (G) bei in Richtung des viereckigen Substrats (G) abwärtsströmender Reinluft, während das viereckige Substrat (G) gedreht wird, die umfasst:–einen Drehteller (2, 2A, 2B, 2C, 2D) mit einer Halteplatte (23, 23A, 23B, 23C), die horizontal daran angebracht ist, zum horizontalen Drehen des Substrats;–eine Schale (3, 6), die das viereckige Substrat auf dem Drehteller umgibt;–einen Absaugmechanismus (33, 81), der das Innere der Schale entleert;–eine Beschichtungslösungsdüse (4), die eine Beschichtungslösung auf die obere Oberfläche des viereckigen Substrats auf dem Drehteller zuführt; und–Luftstrom-Steuerungselemente (26, 26A, 26B, 26C), die jeweils–in einem äußeren Abschnitt des Drehtellers dicht an und entlang der Seitenabschnitte des viereckigen Substrats auf dem Drehteller vorgesehen sind,–eine obere Oberfläche haben, die im Wesentlichen auf einer Ebene mit oder etwas höher als die obere Oberfläche des viereckigen Substrates auf dem Drehteller liegt, und–nicht in der Nähe der Eckbereiche des viereckigen Substrates auf dem Drehteller angeordnet sind, wobei–die abwärtsströmende Reinluft auf die Oberfläche des quadratischen Substrates trifft und das von dem Substrat verdunstete Lösungsmittel auffängt, und–die Lösungsmittel enthaltende Luft, die von dem zentralen Drehabschnitt zu einem äußeren Abschnitt des viereckigen Substrats entlang dessen Oberfläche strömt, an den Luftstrom-Steuerungselementen entlang zu den Eckabschnitten des viereckigen Substrats geleitet wird, wenn die Beschichtungslösung einem zentralen Rotationsabschnitt des viereckigen Substrates von der Beschichtungslösungsdüse zugeführt und das Innere der Schale durch den Absaugmechanismus abgesaugt wird, während das viereckige Substrat durch den Drehteller gedreht wird.</p> |
