| 发明名称 | 一种晶片抛光台 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶片抛光台，该抛光台设置在加热炉中，包括作为固定基础的陶瓷盘，所述陶瓷盘上涂覆有蜂蜡层，所述蜂蜡层中内嵌有镜头纸，位于所述镜头纸上方的蜂蜡层上黏附有待抛光的晶片，其中，镜头纸的幅面尺寸大于所述晶片的幅面尺寸。适用于单面和双面抛光，在抛光后卸片时，连同镜头纸和晶片一同从陶瓷盘上取下，再去除晶片上的镜头纸，这样可以降低晶片的破碎率，不易划伤晶片，其成本低，工艺简单，也便于操作。 | ||
| 申请公布号 | CN204525120U | 申请公布日期 | 2015.08.05 |
| 申请号 | CN201520005411.X | 申请日期 | 2015.01.06 |
| 申请人 | 北京华进创威电子有限公司 | 发明人 | 李东;李百泉;黄伟;郭东;程英杰 |
| 分类号 | B24B29/02(2006.01)I;B24B7/22(2006.01)I | 主分类号 | B24B29/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人 | 尹振启 |
| 主权项 | 一种晶片抛光台，其特征在于，该抛光台设置在加热炉中，包括作为固定基础的陶瓷盘，所述陶瓷盘上涂覆有蜂蜡层，所述蜂蜡层中内嵌有镜头纸，位于所述镜头纸上方的蜂蜡层上黏附有待抛光的晶片，其中，镜头纸的幅面尺寸大于所述晶片的幅面尺寸。 | ||
| 地址 | 101111 北京市大兴区经济技术开发区通惠干渠路17号院 | ||