发明名称 |
有源矩阵基板及其制造方法和图像显示装置 |
摘要 |
本发明涉及有源矩阵基板以及图像显示装置,该有源矩阵基板由于漏电极和像素电极容易连接且半导体电路和滤色器容易对位,所以成品率高、且开口率高。本发明的有源矩阵基板,其特征在于,是以薄膜晶体管(101)构成像素、排列多个该像素而形成的有源矩阵基板,所述薄膜晶体管(101)在基板(1)上具有栅极电极(2)、栅极电极(2)上的栅极绝缘层(4)、栅极绝缘层(4)上的半导体活性层(5)、与半导体活性层(5)连接的源电极(7)和漏电极(8)、与漏电极(8)连接的像素电极(10)、和用于将源电极(7)和像素电极(10)绝缘的层间绝缘层(9);以将半导体活性层(5)分为二个露出区域的方式在半导体活性层上形成保护膜(6),在该两个露出区域的一方源电极(7)与半导体活性层(5)连接,在另一方漏电极(8)与半导体活性层(5)连接,漏电极(8)在保护膜(6)上与像素电极(10)连接。 |
申请公布号 |
CN102576507B |
申请公布日期 |
2015.08.05 |
申请号 |
CN201080042815.6 |
申请日期 |
2010.09.21 |
申请人 |
凸版印刷株式会社 |
发明人 |
池田典昭;今村千裕;伊藤学 |
分类号 |
G09F9/30(2006.01)I;G02F1/1368(2006.01)I;G02F1/167(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I;H01L23/522(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I;H01L29/417(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L51/05(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/12(2006.01)I |
主分类号 |
G09F9/30(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
金世煜;苗堃 |
主权项 |
一种有源矩阵基板,其特征在于,是薄膜晶体管构成像素、排列多个该像素而形成的有源矩阵基板,所述薄膜晶体管在基板上具有栅极电极、栅极电极上的栅极绝缘层、栅极绝缘层上的半导体活性层、与半导体活性层连接的源电极和漏电极、与漏电极连接的像素电极、和用于将源电极和像素电极绝缘的层间绝缘层,以将半导体活性层分成两个露出区域的方式在半导体活性层上形成有保护膜,在该两个露出区域中的一方源电极与半导体活性层连接,在另一方漏电极与半导体活性层连接,保护膜头顶部的漏电极的高度是与层间绝缘层表面相同或其以上的高度,漏电极在保护膜上与像素电极连接,所述保护膜以分别将半导体活性层分割为两个露出区域的方式形成,并且形成为划分像素的格子状,且具有遮光性。 |
地址 |
日本东京都 |