发明名称 酸化物焼結体及びスパッタリングターゲット
摘要 An oxide sintered body includes indium oxide and gallium solid-solved therein, the oxide sintered body having an atomic ratio “Ga/(Ga+In)” of 0.001 to 0.12, containing indium and gallium in an amount of 80 atom % or more based on total metal atoms, and having an In2O3 bixbyite structure.
申请公布号 JP5759530(B2) 申请公布日期 2015.08.05
申请号 JP20130265227 申请日期 2013.12.24
申请人 出光興産株式会社 发明人 宇都野 太;井上 一吉;川嶋 浩和;笠見 雅司;矢野 公規;寺井 恒太
分类号 C23C14/34;C04B35/00;H01L21/363 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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