无水氟化氢的生产装置

摘要

本实用新型属于一种化工领域，具有涉及一种无水氟化氢的生产装置，包括反应罐，反应罐下部通过管路与一级吸收罐连接，一级吸收罐通过管路与二级吸收罐连接，二级吸收罐通过管路与负压循环泵连接，负压循环泵通过管路分别与压缩机和精馏罐连接，压缩机通过管路与氟化硅产品罐连接；精馏罐通过管路与无水氟化氢罐连接；精馏罐通过管路与反应罐连接；反应罐通过管路与降温器连接，降温器通过管路与一级吸收塔连接，一级吸收塔与二级吸收塔连接。本实用新型工艺设备简单，操作方便，节省能源，保护环境，节省生产成本，提高效率。

主权项

一种无水氟化氢的生产装置，包括反应罐(5)，其特征在于，反应罐(5)下部通过管路与一级吸收罐(13)连接，一级吸收罐(13)通过管路与二级吸收罐(12)连接，二级吸收罐(12)通过管路与负压循环泵(7)连接，负压循环泵(7)通过管路分别与压缩机(8)和精馏罐(11)连接，压缩机(8)通过管路与氟化硅产品罐(9)连接；精馏罐(11)通过管路与无水氟化氢罐(10)连接；精馏罐(11)通过管路与反应罐(5)连接；反应罐(5)通过管路与降温器(3)连接，降温器(3)通过管路与一级吸收塔(2)连接，一级吸收塔(2)与二级吸收塔(1)连接。