显示元件的硬化膜的制造方法、感放射线性树脂组合物及其应用、以及加热装置

摘要

本发明提供一种显示元件的硬化膜的制造方法、感放射线性树脂组合物及其应用、以及加热装置，所述方法包括：使用含有聚合物成分及感光体的感放射线性树脂组合物，在基板上形成涂膜的步骤；对涂膜进行曝光的步骤；通过电磁波的照射来对曝光后的涂膜进行加热的步骤；对加热后的涂膜进行显影的步骤；以及对显影后的涂膜进行热硬化的步骤；并且所述聚合物成分为选自包括第1结构单元及第2结构单元的聚合物成分、以及聚硅氧烷中的至少一个，所述第1结构单元包含羧基及酚性羟基中的至少一个，所述第2结构单元包含交联性基。本发明的制造方法可提供一种显示元件的硬化膜，其能够以高感度来形成图案，且能够确保高的膜厚均匀性以及与基板等的高粘附性。

主权项

一种显示元件的硬化膜的制造方法，其特征在于包括：使用含有聚合物成分及感光体的感放射线性树脂组合物，在基板上形成涂膜的步骤；对所述涂膜进行曝光的步骤；通过电磁波的照射来对曝光后的涂膜进行加热的步骤；对加热后的涂膜进行显影的步骤；以及对显影后的涂膜进行热硬化的步骤；并且所述聚合物成分为选自包括第1结构单元及第2结构单元的聚合物成分、以及聚硅氧烷中的至少一个，所述第1结构单元包含羧基及酚性羟基中的至少一个，且所述第2结构单元包含交联性基。