发明名称 | 一种柔性壁面热线微传感器的新型制作方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种柔性壁面热线微传感器的新型制作方法,属于微机电系统(MEMS)领域。本发明采用柔性金属载体来实现加工过程中柔性衬底的固定,通过标准光刻工艺实现柔性衬底正面器件和导线的图形化,接着在正面沉积聚对二甲苯(Parylene)作为保护和强化层,然后在柔性金属载体背面贴附感光蓝膜,采用掩膜曝光及湿法腐蚀实现柔性金属载体的图形化,形成用于柔性衬底刻蚀的硬掩膜,再通过反应离子刻蚀(RIE)实现柔性衬底的局部刻蚀,刻蚀完成后采用高温加热的方法实现传感器和柔性金属载体的分离。该方法可以有效的保护柔性壁面热线微传感器的敏感单元,提高了传感器的性能,使用寿命也会大幅增加。 | ||
申请公布号 | CN103086320B | 申请公布日期 | 2015.08.05 |
申请号 | CN201310021415.2 | 申请日期 | 2013.01.21 |
申请人 | 西北工业大学 | 发明人 | 马炳和;朱鹏飞;马旭轮;邓进军 |
分类号 | B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I |
代理机构 | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人 | 吕湘连 |
主权项 | 一种柔性壁面热线微传感器的新型制作方法,包括如下步骤:步骤1:对硬质衬底进行表面抛光和清洗;步骤2:在硬质衬底上表面旋涂PDMS;步骤3:将聚酰亚胺薄膜贴覆于旋涂有PDMS的硬质衬底表面,采用加温加压装置实现贴合,所述聚酰亚胺薄膜形成柔性壁面热线微传感器的柔性基底(2);步骤4:在聚酰亚胺表面依次沉积第一金属层和第二金属层,图形化后形成敏感元件(1)和导线(5);步骤5:在形成的敏感元件(1)和导线(5)的表面沉积聚对二甲苯(4);步骤6:对硬质衬底图形化,形成空腔(3)的掩膜层;步骤7:以图形化的硬质衬底作为掩膜,进行PDMS和聚酰亚胺的刻蚀,形成空腔(3);步骤8:加热硬质衬底,实现柔性壁面热线微传感器和硬质衬底的剥离。 | ||
地址 | 710072 陕西省西安市友谊西路127号 |