一种超高纯介质输送集成系统

摘要

本发明公开了一种超高纯介质输送集成系统，包括换热器、冷却水循环装置、注射水用水循环装置和控制面板。注射水用水循环装置包括注射用水进水管道、注射用水出水管道和延伸管道；所述注射用水进水管道上还设置有一注射用水支线管道，所述注射用水支线管道上同时连接有用第一自动阀门和第二自动阀门；所述延伸管道的中部延伸至所述第二自动阀门处，直接与所述第二自动阀门导通连接；所述第一自动阀门、第二自动阀门和所述冷却水循环装置均连接至所述控制面板上；所述冷却水循环装置上设置有一用压缩气源，所述压缩气源通过第三自动阀门与所述冷却水循环装置连接。本发明满足了超高纯介质输送要求，同时实现进一步降低能源浪费。

主权项

一种超高纯介质输送集成系统，包括换热器、冷却水循环装置、注射用水循环装置和控制面板，所述冷却水循环装置与所述换热器连接，用于给所述换热器提供冷媒，其特征在于：所述注射用水循环装置包括注射用水进水管道、注射用水出水管道和用于延伸至用水点处的延伸管道；所述注射用水进水管道上还设置有一注射用水支线管道，所述换热器设置在所述注射用水支线管道上，所述注射用水支线管道穿过所述换热器的一端头上同时连接有用于与用水点连接的第一自动阀门和用于与所述延伸管道连接的第二自动阀门；所述延伸管道的两端头分别导通连接在所述注射用水进水管道和注射用水出水管道上，所述延伸管道的中部延伸至所述第二自动阀门处，直接与所述第二自动阀门导通连接；所述第一自动阀门、第二自动阀门和所述冷却水循环装置均连接至所述控制面板上；所述冷却水循环装置上设置有一用于将冷媒排出所述换热器的压缩气源，所述压缩气源通过第三自动阀门与所述冷却水循环装置连接，所述第三自动阀门连接至所述控制面板上。