净化系统

摘要

本发明涉及使用用于净化包含例如用于半导体制造的液体的可移除式净化器匣的模块化净化系统。净化系统可包含可移除式净化器匣，其具有净化器入口端口及净化器出口端口；及歧管组合件。所述歧管组合件可包含多个连接系统以提供歧管端口以提供流体往返于所述匣。在一些实施例中，所述连接系统可使用连接螺母，其可在旋转小于360度的情况下提供360度螺纹接合。

主权项

一种净化系统，其包括：大体上矩形可移除式净化器匣，所述净化器匣进一步包括：净化器主体，其包括第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁及第四侧壁，所述第一侧壁与所述第二侧壁相对且所述第三侧壁与所述第四侧壁相对，所述净化器主体界定介质腔；一或多个张力部件，其耦合到所述介质腔的所述第一侧壁及所述第二侧壁，所述一或多个张力部件将所述介质腔分为多个区段；净化器元件，其安置在所述多个区段中的每一者中；第一净化器端口接头，其提供流体连接到所述介质腔的上游部分的第一净化器端口；第二净化器端口接头，其提供流体连接到所述介质腔的下游部分的第二净化器端口；歧管组合件，其包括提供歧管端口的多个连接系统，所述歧管端口包括：第一歧管端口，其耦合到所述第一净化器端口接头；及第二歧管端口，其耦合到所述第二净化器端口接头。