新型磺酸衍生物化合物、光产酸剂、阳离子聚合引发剂、抗蚀剂组合物以及阳离子聚合性组合物

摘要

本发明提供对365nm波长的光的吸收大且具有良好的产酸率的化合物、使用其的光产酸剂、阳离子聚合引发剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合性组合物。一种磺酸衍生物化合物，其特征在于，其用下述通式(I)表示。(式(I)中，X表示碳数1～12的直链或支链烷基，R为碳数1～18的脂肪族烃基等。)。

主权项

一种磺酸衍生物化合物，其特征在于，其用下述通式(I)表示，式(I)中，X表示碳数1～14的直链或支链烷基，R表示碳数1～18的脂肪族烃基、碳数6～20的芳基、碳数7～20的芳基烷基、被酰基取代的碳数7～20的芳基、碳数3～12的脂环式烃基、10‑樟脑基或下述通式(II)所示的基团，该脂肪族烃基、芳基、芳基烷基、脂环式烃基可以没有取代基，也可以被选自卤素原子、碳数1～4的卤代烷基、碳数1～18的烷氧基以及碳数1～18的烷硫基中的基团取代；式(II)中，Y¹表示单键或碳数1～4的烷二基，R¹和R²各自独立地表示碳数2～6的烷二基、碳数2～6的卤代烷二基、碳数6～20的亚芳基或碳数6～20的卤代亚芳基，R³表示碳数1～18的直链或支链烷基、碳数1～18的卤代直链或支链烷基、碳数3～12的脂环式烃基、碳数6～20的芳基、碳数6～20的卤代芳基、碳数7～20的芳基烷基或碳数7～20的卤代芳基烷基，a、b表示0或1，a、b中的任一者为1。