| 摘要 |
본 발명의 시료 관찰 장치는, 오목부인 피관찰 대상부를 포함하는 시료에, 제1 가속 전압에 의하여 하전 입자선을 조사하는 하전 입자 광학 칼럼과, 하전 입자선의 조사에 의하여 얻어지는 신호로부터 피관찰 대상부를 포함하는 화상을 취득하는 화상 취득부와, 표준 시료에서의 오목부와 당해 오목부의 주변부의 명도비와, 표준 시료에서의 오목부의 구조를 나타내는 값과의 관계를 나타내는 정보를, 복수의 가속 전압별로 미리 기억하는 기억부와, 상기 화상에서의 오목부와 오목부의 주변부의 명도비를 구하는 연산부를 구비한다. 연산부는, 관계를 나타내는 정보와 상기 화상에서의 상기 명도비를 이용해서, 제1 가속 전압의 적부를 판정한다. |
