从六氟化钨混合气体中分离氮气或氧气的分离装置

摘要

本实用新型公开了一种从六氟化钨混合气体中分离氮气或氧气的分离装置，包括容纳在真空罩内的第一级容器、第二级容器，分子泵机组与真空罩侧壁连通，第一级容器制冷机与第一级容器相连，第二级容器制冷机与第二级容器相连，第一级容器制冷机、第二级容器制冷机分别通过带阀门的连接管与冷水机组连通。本实用新型中的分离装置避免了WF₆的腐蚀性对仪器以及操作人员造成伤害，使纯化WF₆过程的成本更低、难度更小、精度更高。

主权项

一种从六氟化钨混合气体中分离氮气或氧气的分离装置，包括真空罩（5），其特征在于：真空罩（5）内部容纳第一级容器（2）、第二级容器（3），外壁通过带Ⅳ号阀门（15）的连接管（1）与分子泵机组（6）连通，第一级容器（2）进气端连接管（1）中设置有Ⅰ号阀门（12），第一级容器（2）、第二级容器（3）间的连接管（1）中设置有Ⅱ号阀门（13），第二级容器（3）与真空泵机组（4）间的连接管（1）中设置有Ⅲ号阀门（14），设置有第一级制冷机控温仪（9）的第一级容器制冷机（7）与第一级容器（2）相连，设置有第二级制冷机控温仪（10）的第二级容器制冷机（8）与第二级容器（3）相连，第一级容器制冷机（7）分别通过带有Ⅴ号阀门（16）、Ⅵ号阀门（17）的连接管（1）与冷水机组（11）连通，第二级容器制冷机（8）分别通过带有Ⅶ号阀门（18）、Ⅷ号阀门（19）的连接管（1）与冷水机组（11）连通。