高分子执行器和使用该高分子执行器的阀门

摘要

本发明提供一种能够通过简单的构造，确保高的密封性，能够以少的施加电压，使位移量增大，且高精度地进行流路的开闭控制、流量控制，可通过使施加电压变化，来实施从小流量到大流量的流量的控制，提高了响应性能的高分子执行器和利用了该高分子执行器的阀门。本发明中，是具有通过电的外部刺激变形的驱动体(2)、相向地配置在该驱动体(2)的上下面侧，将正负电的外部刺激向驱动体(2)平面地施加的固定电极(3)、(4)，将上下面侧的固定电极(3)、(4)中的至少一方侧的固定电极突出设置在驱动体(2)弯曲变形的一侧，设有在驱动体(2)变形了时，因库仑力而位移并可抵接的抵接面(5)，在非施加时，在至少一方的抵接面(5)和驱动体(2)之间产生分离区域(T)的高分子执行器。

主权项

一种高分子执行器，其特征在于，具有通过电的外部刺激而变形的驱动体，和相向配置在该驱动体的上下面侧并将正负的电的外部刺激向驱动体施加的固定电极，将上述上下面侧的固定电极中的至少一侧的固定电极突出设置在上述驱动体变形的一侧，设有在上述驱动体变形了时可抵接的抵接面，当没有外部电刺激时，在至少一方的上述抵接面和上述驱动体之间产生分离区域，在该分离区域设置上述抵接面和驱动体向外端方向逐渐相对地分离的圆弧面、放射面或锥面，将上述驱动体做成用于对隔膜式或活塞式的主阀进行开闭的先导阀，在设置在该先导阀上的阀座部的圆周上贯穿设置多个小孔，使该多个小孔与先导阀的二次侧的连通路连通，上述高分子执行器的产生应力作用于流体压力的负荷，使上述先导阀驱动。