外延片生产设备

摘要

本发明公开了一种外延片生产设备，包括反应腔室以及加热装置，所述的反应腔室具有进气口和出气口，所述的反应腔室内设有托盘，所述的反应腔室内还安装有吸热装置，所述的吸热装置位于托盘与出气口之间，所述的加热装置用于加热反应腔室。本发明延长了反应腔室的使用寿命，节约了蚀刻原料，为生产节约了成本，同时还提升了外延片的优良率，提高了生产效率。

主权项

外延片生产设备，其特征在于，包括反应腔室以及加热装置，所述的反应腔室具有进气口和出气口，所述的反应腔室内设有托盘，所述的反应腔室内还安装有吸热装置，所述的吸热装置位于托盘与出气口之间，所述的加热装置用于加热反应腔室。