一种具有抗变色耐磨复合膜的工件以及在工件表面形成复合膜的方法

摘要

一种具有抗变色耐磨复合膜的工件，包括工件本体以及设于工件本体外表面的抗变色耐磨复合膜，其特征在于：所述抗变色耐磨复合膜包括自下而上依次设置的底层、底部耐磨层、中介层、贵金属膜层、以及表面耐磨层，且所述底部耐磨层为掺杂Si元素的薄膜层,所述底部耐磨层为TiSiC薄膜层、TiSiN薄膜层或TiSiCN薄膜层,所述表面耐磨层为透明的类金刚石薄膜层。一种在工件表面形成复合膜的方法，至少包括依次在工件外表面镀上底层、底部耐磨层、中介层、贵金属膜层、以及表面耐磨层的步骤。本发明之工件、或形成复合膜的方法，其复合膜硬度高、抗氧化性好，使耐磨性及抗变色性能更优化。

主权项

一种具有抗变色耐磨复合膜的工件，包括工件本体以及设于工件本体外表面的抗变色耐磨复合膜，其特征在于：所述抗变色耐磨复合膜包括自下而上依次设置的底层、底部耐磨层、中介层、贵金属膜层、以及表面耐磨层，且所述底部耐磨层为掺杂Si元素的薄膜层,所述底部耐磨层为TiSiC薄膜层、TiSiN薄膜层或TiSiCN薄膜层,所述表面耐磨层为透明的类金刚石薄膜层。