一种球焊机轨道密封保护装置

摘要

本实用新型公开了一种球焊机轨道密封保护装置，属于半导体领域。它包括包覆住轨道的密封罩以及供氮装置，所述密封罩顶部开设观察窗，所述密封罩端部周向均匀开设透气孔，所述密封罩底部设有接头，且所述接头通过导管与供氮装置相连，所述供氮装置包括流量计和供氮箱，所述流量计通过导管与供氮箱连接。本实用新型在现有技术的基础上，给轨道加设密封罩和供氮装置，从而解决了现有技术不能够生产镀厚铜产品的问题。

主权项

一种球焊机轨道密封保护装置，其特征在于，包括包覆住轨道的密封罩以及供氮装置，所述密封罩顶部开设观察窗，所述密封罩端部周向均匀开设透气孔，所述密封罩底部设有接头，且所述接头通过导管与供氮装置相连，所述供氮装置包括流量计和供氮箱，所述流量计通过导管与供氮箱连接。