摘要 |
<p>절연 기판에 대한 적층 공정 전에는 캐리어로부터 극박 구리층이 박리되지 않는 한편으로, 절연 기판에 대한 적층 공정 후에는 박리 가능한 캐리어 부착 동박을 제공한다. 동박 캐리어, 중간층, 극박 구리층을 이 순서로 갖는 캐리어 부착 동박으로서, 중간층은 동박 캐리어측으로부터 순서대로 Ni 층, Cr 층을 갖고, 중간층에 있어서의 Ni 의 부착량은 100 ㎍/d㎡ 이상 1000 ㎍/d㎡ 미만이고, 중간층에 있어서의 Cr 의 부착량은 5 ∼ 100 ㎍/d㎡ 인 캐리어 부착 동박.</p> |