热式流量计

摘要

本发明的课题在于提供高灵敏度且可靠性提高了的热式流量传感器。本发明的传感器元件（1）具备：半导体基板（2）、形成于半导体基板（2）的空腔部（4）、在空腔部（4）上隔着电绝缘膜形成的发热电阻器（5）、检测发热电阻器（5）的加热温度的加热温度传感器（7）、根据由加热温度传感器（7）检测的温度控制发热电阻器（5）的加热温度的驱动电路（22）。并且，加热温度传感器（7）是电阻值根据温度而变化的热敏电阻器，相对于发热电阻器（5）配置于被计测流体的流动的上游侧以及下游侧，且配置于被计测流体的流动的垂直方向的上部侧和下部侧。

主权项

一种具备具有流入被计测流体的开口部的副通路、和配置于所述副通路内并计测被计测流体的流量的传感器元件的热式流量计，其特征在于，所述传感器元件具备：半导体基板、形成于所述半导体基板的空腔部、在所述空腔部上隔着电绝缘膜形成的发热电阻器、检测所述发热电阻器的加热温度的加热温度传感器、根据由所述加热温度传感器检测的温度来控制所述发热电阻器的加热温度的驱动电路，所述加热温度传感器是电阻值根据温度发生变化的热敏电阻器，相对于所述发热电阻器配置于所述被计测流体的流动的上游侧以及下游侧，并且配置于所述被计测流体的流动的垂直方向的上部侧和下部侧，相对于所述发热电阻器在所述被计测流体的流动的上游侧配置上游侧温度传感器，相对于所述发热电阻器在所述被计测流体的流动的下游侧配置下游侧温度传感器，根据与所述上游侧温度传感器和所述下游侧温度传感器之间的温度差对应的电阻变化测定被计测流体的流量。