一种三氯氢硅合成尾气的处理方法和系统

摘要

本发明公开了一种三氯氢硅合成尾气的处理方法和系统，所述处理方法包括以下步骤：a）将三氯氢硅合成尾气加入洗涤精馏塔进行洗涤精馏以除去其中的固体和金属杂质，得到洗涤后气；b）将洗涤后气进行预冷，得到第一冷凝液和预冷后气；c）将预冷后气与冷媒换热冷凝，得到第二冷凝液和不凝气，并将第二冷凝液升温后与第一冷凝液混合，得到冷凝料；d）将冷凝料进行缓冲处理，得到缓冲冷凝料；e）选择预定质量百分比的缓冲冷凝料作为回流液返回洗涤精馏塔进行洗涤精馏。根据本发明的方法，从洗涤精馏塔上部出来的洗涤后气中只含有极微量金属杂质，可以减小由于金属杂质沉积对后续操作的影响，提高了三氯氢硅合成尾气的处理稳定性和连续性。

主权项

一种三氯氢硅合成尾气的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：a)将三氯氢硅合成尾气加入洗涤精馏塔进行洗涤精馏以除去其中的固体和金属杂质，得到洗涤后气；b)将所述洗涤后气进行预冷，得到第一冷凝液和预冷后气；c)将所述预冷后气与冷媒换热冷凝，得到第二冷凝液和不凝气，并将所述第二冷凝液升温后与所述第一冷凝液混合，得到冷凝料；d)将所述冷凝料进行缓冲处理，得到缓冲冷凝料；e)选择预定质量百分比的缓冲冷凝料作为回流液返回洗涤精馏塔进行洗涤精馏，所述洗涤精馏塔包括塔体，所述塔体下部设有合成尾气进口，塔体上部设有洗涤后气出口，所述塔体内包括从上至下依次连接的塔板区、筛板区和挡板区，其中，所述挡板区位于所述合成尾气进口上方，所述挡板区内径向设置人字挡板，所述人字挡板上设有开口以除去合成尾气中的固体杂质；所述筛板区内设有筛板，所述筛板将经过所述挡板区处理的合成尾气进行筛选以除去合成尾气中残存的固体杂质；所述塔板区内设有多层塔板，相邻塔板之间设有溢流堰，所述塔板区将经过所述筛板区处理的合成尾气进行洗涤以除去其中的金属杂质。