多晶硅还原尾气的处理方法和系统

摘要

本发明公开了一种多晶硅还原尾气的处理方法和系统，该方法包括：将多晶硅还原尾气进行除尘处理，以便获得经过除尘的还原尾气；将所述经过除尘的还原尾气进行压缩处理，以便得到压缩后气；将压缩后气进行一系列冷却处理，以便得到冷凝液和经过冷却处理的压缩后气，并且将后者冷却处理所产生的冷凝液和经过冷却处理的压缩后气用于前者冷却处理过程中的冷却液或冷却气使用。根据本发明实施例的多晶硅还原尾气的处理方法可以节省大量的冷量，从而显著降低多晶硅还原尾气的处理成本和还原尾气对环境的污染。

主权项

一种多晶硅还原尾气的处理方法，其特征在于，由下列步骤组成：（1）将多晶硅还原尾气进行除尘处理，以便获得经过除尘的还原尾气；（2）将所述经过除尘的还原尾气进行压缩处理，以便获得压缩后气；（3）利用冷却水对所述压缩后气进行第一冷却处理，以便获得经过第一冷却处理的压缩后气和第一冷凝液；（4）将所述经过第一冷却处理的压缩后气进行第二冷却处理，以便获得经过第二冷却处理的压缩后气和第二冷凝液；（5）将所述经过第二冷却处理的压缩后气进行第三冷却处理，以便获得经过第三冷却处理的压缩后气和第三冷凝液；（6）利用第一冷媒对所述经过第三冷却处理的压缩后气进行第四冷却处理，以便获得经过第四冷却处理的压缩后气和第四冷凝液；（7）将所述经过第四冷却处理的压缩后气进行第五冷却处理，以便获得经过第五冷却处理的压缩后气和第五冷凝液；（8）利用第二冷媒对所述经过第五冷却处理的压缩后气进行第六冷却处理，以便获得经过第六冷却处理的压缩后气和第六冷凝液，其中，将所述第三冷凝液、第四冷凝液、第五冷凝液和第六冷凝液与所述经过第一冷却处理的压缩后气进行第一双效换热处理，以便进行所述第二冷却处理，并且获得经过第一双效换热处理的冷凝液；将所述经过第六冷却处理的压缩后气与所述经过第四冷却处理的压缩后气进行第二双效换热处理，以便进行所述第五冷却处理，并且获得经过第二双效换热处理的压缩后气；以及将所述经过第二双效换热处理的压缩后气与所述经过第二冷却处理的压缩后气进行第三双效换热处理，以便进行所述第三冷却处理，并且获得经过第三双效换热处理的压缩后气。