| 发明名称 | 研磨物的制造方法 | ||
| 摘要 | 磨削装置(10)具备可控制装置整体的控制器(11)，磨削电动机(14)，通过磨削电动机(14)旋转的砂轮座(15)以及固定在砂轮座(15)上的磨削用砂轮(16)。磨削工序中，使用该磨削装置(10)，利用以10m/s以下的圆周速度旋转的磨削用砂轮(16)磨削被研磨(18)的表面(19)。该磨削工序中，优选利用以0.5m/s以上的圆周速度旋转的磨削用砂轮(16)磨削被研磨物(18)的表面(19)。该磨削工序中，磨削作为上述被研磨物的氧化铝、蓝宝石、碳化硅以及氮化镓的表面。另外，该方法也包含使用磨粒研磨上述磨削后的被研磨物的研磨工序。 | ||
| 申请公布号 | CN104822491A | 申请公布日期 | 2015.08.05 |
| 申请号 | CN201480003235.4 | 申请日期 | 2014.10.02 |
| 申请人 | 日本碍子株式会社 | 发明人 | 北村和正;长江智毅 |
| 分类号 | B24B1/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | B24B1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 李晓 |
| 主权项 | 一种研磨物的制造方法，其是研磨被研磨物，来制造研磨物的方法，其特征在于，包含磨削工序，所述磨削工序是利用以10m/s以下的圆周速度旋转的砂轮磨削所述被研磨物的表面。 | ||
| 地址 | 日本国爱知县名古屋市瑞穗区须田町2番56号 | ||