一种亚波长增透结构的制备装置及其方法

摘要

一种亚波长增透结构的制备装置，其包括：计算机控制模块，激光器，光学传递组件，振镜组件，聚焦系统组件，以及加工平台；所述的光学传递组件、振镜组件、聚焦系统组件依次沿激光光路排布，由所述计算机控制模块控制激光器，并控制振镜组件和加工平台动作，在待加工件表面制备增透结构。该发明亚波长增透结构的制备装置的优点在于：设备简单，工艺简单，无需制备掩膜版，可精确控制亚波长结构尺寸，加工精度小于特征尺寸，制备效率高，一步完成，激光光源可选择效率高、成本低。

主权项

一种亚波长增透结构的制备装置，其特征在于，包括：计算机控制模块，激光器，光学传递组件，振镜组件，聚焦系统组件，以及加工平台；所述的光学传递组件、振镜组件、聚焦系统组件依次沿激光光路排布，由所述计算机控制模块控制激光器发射的激光参数，并控制振镜组件和加工平台动作，使激光光束对放置于加工平台上的待加工件表面进行扫描，制备增透结构。