电力供给恢复时能短时间无损伤地再启动的气体激光系统

摘要

本发明提供一种电力供给恢复时能短时间无损伤地再启动的气体激光系统。该气体激光系统具备：激光振荡器，其包含在由于来自电源部的供给电力的下降而停止了动作后，在正常地开始动作之前需要预定的待机时间的设备；控制装置，其控制激光振荡器；电力下降检测部；以及非易失性存储部，其存储通过电力下降检测部检测出供给电力下降的第一时刻的时刻数据。控制装置根据从通过非易失性存储部中存储的时刻数据而得到的第一时刻到输出下一次的系统启动指令的第二时刻的时间，计算设备的动作停止时间，当该动作停止时间超过预定的待机时间时，允许设备的动作重新开始，在动作停止时间在预定的待机时间以内时，禁止设备的动作重新开始。

主权项

一种气体激光系统，其特征在于，具备：电源部；激光振荡器，其通过从该电源部提供的电力进行动作，包含在由于来自上述电源部的供给电力的下降而停止了动作后，在正常地开始动作之前需要预定的待机时间的设备；控制装置，其控制上述激光振荡器；电力下降检测部，其检测低于能够使上述激光振荡器正常动作的电力值的、来自上述电源部的供给电力的下降；以及非易失性存储部，其存储通过上述电力下降检测部检测出供给电力下降的第一时刻的时刻数据，上述控制装置根据从通过上述非易失性存储部中存储的时刻数据得到的上述第一时刻到输出下一次的系统启动指令的第二时刻的时间，计算上述设备的动作停止时间，当该动作停止时间超过上述预定的待机时间时，允许上述设备的动作重新开始，在上述动作停止时间在上述预定的待机时间以内时，禁止上述设备的动作重新开始。