真空镀膜腔体中的三轴转基架装置

摘要

本发明公开了一种真空镀膜腔体中的三轴转基架装置，包括第一齿轮组、第二齿轮组、至少一个第一传动件、第三齿轮、第四齿轮组、至少一个第二传动件、第五齿轮组、第六齿轮组；第一齿轮组包括第一上齿轮和第一下齿轮，这两个齿轮相互固定在一起并一起转动，其中第一下齿轮固定在腔体内的底板上；第二齿轮组包括第二上齿轮，第二下齿轮，第二上齿轮具有第一传动件放置孔，该第二上齿轮通过第一传动件与第二下齿轮传动连接，其中第二下齿轮的底面与第一下齿轮的顶面成滑动连接。本发明可解决如何使产品保持三轴旋转从而解决在镀膜过程中样品之间相互遮挡的现象，从而保证了样品各表面镀膜的均匀性。

主权项

真空镀膜腔体中的三轴转基架装置，其特征在于：包括第一齿轮组、第二齿轮组、至少一个第一传动件、第三齿轮、第四齿轮组、至少一个第二传动件、第五齿轮组、第六齿轮组；第一齿轮组包括第一上齿轮和第一下齿轮，这两个齿轮相互固定在一起并一起转动，其中第一下齿轮固定在腔体内的底板上；第二齿轮组包括第二上齿轮，第二下齿轮，第二上齿轮具有第一传动件放置孔，该第二上齿轮通过第一传动件与第二下齿轮传动连接，其中第二下齿轮的底面与第一下齿轮的顶面成滑动连接，第二下齿轮与第三齿轮啮合连接，其中，第三齿轮安装在腔体内的电机上；第四齿轮组包括至少一个第四齿轮，每一个第四齿轮底端设置在第一传动件内与之一起运动，顶端则与第一上齿轮啮合连接；第二传动件底端设置在第四齿轮内部并与之一起运动，第五齿轮组具有至少一个第五齿轮，每一个第四齿轮的顶部均与一组第五齿轮传动连接；第六齿轮组包括至少一个第六齿轮，该第五齿轮与第六齿轮啮合连接，其中第六齿轮组活动固定在第二上齿轮表面上。