一种氧化铌旋转靶材及其制备方法

摘要

本发明涉及一种氧化铌旋转靶材及其制备方法，其制备方法包括：氧化铌喷涂粉的制备，喷涂基体的处理，喷涂打底层，用等离子喷涂工艺在基体管上喷涂氧化铌喷涂粉。通过本发明方法制备的氧化铌旋转靶材结构致密、成分均匀，无裂纹，其喷涂长度和直径不受限制，厚度可达到12mm；密度为4.6—5.2g/cm³，靶的成分为Nb₂O_4.3-4.9。本发明方法生产过程简单便捷，成本较低。

主权项

一种氧化铌旋转靶材，其特征在于该氧化铌旋转靶材成分为Nb₂O_4.3‑4.9，密度为4.6—5.2g/cm³，厚度达到12mm，其是采用等离子喷涂法制备而成，所等离子喷涂法包括：氧化铌喷涂粉的制备，喷涂基体的处理，喷涂打底层，用等离子喷涂工艺在基体管上喷涂氧化铌喷涂粉，其中其中所述用等离子喷涂工艺在基体管上喷涂氧化铌喷涂粉过程中，控制基体管以30—80r/min的转速绕中心轴旋转，喷枪与基体管保持120—200mm的距离并沿基体管方向以300—800mm/min的速度往复来回匀速移动，且在喷涂过程中，基体管用水冷却，靶材表面用等离子喷涂旋转靶材表面除尘冷却控温装置吹压缩气流进行冷却，控制靶材表面温度在100‑160℃，所述等离子喷涂旋转靶材表面除尘冷却控温装置包括固定在喷枪（5）上的气管支架（2），所述气管支架上安装有两根平行的、且与喷枪的喷射轴线平行、与喷涂基体（6）垂直的吹气管（1），上述两根吹气管（1）进气口上均安装有橡胶管（3），并通过三通（4）与气源（7）连接，所述三通（4）上安装有气体流量计，在喷涂时吹气管管端距涂层距离保持在15‑25mm。