一种预应力压电悬臂梁

摘要

本发明涉及一种预应力压电悬臂梁，包括：基座、压电振子和弹簧，其中：所述基座的一个侧面布置有振子安装槽和两个弹簧安装环；所述两个弹簧安装环对称布置在振子安装槽两侧；所述压电振子一端布置在振子安装槽内，另一端为自由端；所述压电振子由弹性基板和压电薄片材料组成；所述弹性基板在自由端宽度方向两侧对称布置有两个基板弹簧安装环；所述弹簧一端安装在弹簧安装环，另一端安装在基板弹簧安装环；本发明在微小机械与精密机械中有广泛的应用，与传统压电振子悬臂梁相比，振幅更大，共振频率范围更宽。

主权项

一种预应力压电悬臂梁，包括：基座(1)、压电振子(2)，其特征在于还包括弹簧(3)，其中：所述基座(1)的一个侧面布置有振子安装槽(11)；所述振子安装槽(11)开口的长度尺寸与所述压电振子(2)的宽度相同；所述振子安装槽(11)开口的宽度尺寸与所述压电振子(2)的厚度相同；所述基座(1)在振子安装槽(11)所在的侧面布置有第一弹簧安装环(121)和第二弹簧安装环(122)；所述第一弹簧安装环(121)和第二弹簧安装环(122)位于基座(1)上，沿振子安装槽(11)开口长度方向两侧对称布置；所述第一弹簧安装环(121)和第二弹簧安装环(122)的厚度方向中心面与振子安装槽(11)的厚度方向中心面在同一平面上；所述压电振子(2)一端布置在振子安装槽(11)内，在压电振子(2)上形成振子支撑区(23)，另一端为自由端；所述压电振子(2)由弹性基板(21)和压电薄片材料(22)组成；所述压电薄片材料(22)贴在弹性基板(21)上下表面；在所述弹性基板(21)自由端宽度方向两侧对称布置有第一基板弹簧安装环(211)和第二基板弹簧安装环(212)；所述弹簧(3)为直线弹簧，包括第一弹簧(31)和第二弹簧(32)；所述第一弹簧(31)一端安装在第一弹簧安装环(121)，另一端安装在第一基板弹簧安装环(211)；所述第二弹簧(32)一端安装在第二弹簧安装环(122)，另一端安装在第二基板弹簧安装环(212)。