截断型镜片、截断型镜片对及相应装置的制造

摘要

本发明涉及光学装置的晶圆级制造，例如包含微镜片的模块。一方面，通过提供其上设有多个光学结构前体的基材；并将材料从该多个光学结构前体的每一个上移除来制造无源光学器件，诸如截断型镜片。另一方面包括一种制造一包含至少两个无源光学器件的套组的装置的方法，该方法包括步骤：使用可通过实施制造具有复制表面的工具前体的步骤而获得的工具；以及通过将材料从该工具前体上移除材料来修改该复制表面。又一方面包括一种制造一包含至少两个无源光学器件的套组的装置的方法，其中该方法包括步骤：使用一具有复制表面的母版，该复制表面包含用于该无源光学器件的每一个的第一部分，该第一部分描绘一和各自无源光学器件的至少一部分的形状相对应的形状，其中该母版额外地包括至少一个突出部分，其从该复制表面的该第一部分的至少一个上突伸出。

主权项

一种制造一装置的方法，该装置包含至少两个无源光学器件的套组，该方法包含下列步骤：A)使用一工具，该工具可由实施工具制造步骤来获得，该工具制造步骤包含下列步骤：ⅰ)制造具有复制表面的工具前体；ⅱ)通过将材料从该工具前体上去除来修改该复制表面。