发明名称 用于施加表面涂层的装置和方法
摘要 本发明提供用于在例如织物片上施加表面涂层的方法并且进一步提供用于将织物片用聚合物层涂布的等离子体腔室(10),所述织物例如纺织品材料,等离子体腔室(10)包括在等离子体腔室内相继地排列的多个电极层(RF,M),其中至少两个相邻的电极层为射频电极层(RF)或接地电极层(M),从而在织物片的两侧上提供表面涂层。
申请公布号 CN104822859A 申请公布日期 2015.08.05
申请号 CN201380062956.8 申请日期 2013.10.09
申请人 欧洲等离子公司 发明人 E.罗格;F.勒盖恩
分类号 C23C16/54(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I;B01D69/12(2006.01)I;C08F2/52(2006.01)I 主分类号 C23C16/54(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 宋莉
主权项 用于将织物片用聚合物层涂布的等离子体腔室,所述织物例如纺织品材料,所述等离子体腔室具有在等离子体腔室内相继地排列的各自具有大体上平的或者板状形式的多个电极层,其中至少两个相邻的电极层为射频电极层或接地电极层。
地址 比利时奥德纳尔德