具有线性和旋转地震元件的双轴、抗震旋转速率传感器

摘要

一种微机械旋转速率传感器，包括基板，其底面被校准为与笛卡尔坐标系统(x，y，z)的x-y平面平行，旋转速率传感器具有至少一个第一和一个第二地震质量块(1)，所述地震质量块耦合到至少一个第一读装置(23)且被悬置(3，4)，使得第一和第二地震质量块(1)被驱动，这样它们在一个驱动模式中逆相偏移，旋转速率传感器被这样设计，使得其可检测绕着至少两个基本上互相正交的敏感轴(z，y)的旋转速率，其中至少第一和第二地震质量块(1)被这样设计和悬置，使得当检测绕着第一敏感轴(y)的第一旋转速率时它们在第一读取模式中逆相振荡，且第一和第二地震质量块(1)和/或额外的地震质量块(10)被这样设计和悬置(5，7，9，11)，使得当检测绕着第二敏感轴(z)的第二旋转速率时它们在第二读取模式中逆相振荡，地震质量块(1，10)与读装置(15，16，17，18，19，20，21，22)关联，所述读装置针对地震质量块(1，10)被这样设计和布置，使得它们针对第一和第二读取模块检测地震质量块(1，10)在同相和逆相每种情况下的偏移。

主权项

一种微机械旋转速率传感器，包括基板，其底面被校准为与笛卡尔坐标系统(x，y，z)的x‑y平面平行，旋转速率传感器具有至少一个第一和一个第二地震质量块(1)，所述地震质量块耦合到至少一个第一驱动装置(23)且被悬置(3，4)，使得第一和第二地震质量块(1)被驱动，这样它们在一个驱动模式中逆相偏移，旋转速率传感器被这样设计，使得其可检测绕着至少两个基本上互相正交的敏感轴(z，y)的旋转速率，其特征在于：至少第一和第二地震质量块(1)被这样设计和悬置，使得当检测绕着第一敏感轴(y)的第一旋转速率时它们在第一读取模式中逆相振荡，且第一和第二地震质量块(1)和/或额外的地震质量块(10)被这样设计和悬置(5，7，9，11)，使得当检测绕着第二敏感轴(z)的第二旋转速率时它们在第二读取模式中逆相振荡，地震质量块(1，10)与读装置(15，16，17，18，19，20，21，22)关联，所述读装置针对地震质量块(1，10)被这样设计和布置，使得它们针对第一和针对第二读模式检测地震质量块(1，10)在同相和逆相每种情况下的偏移；以及第一和第二地震质量块被这样悬置(3，4)和驱动(23)，使得它们在旋转驱动模式中逆相振荡。