| 发明名称 | 一种MO源瓶 | ||
| 摘要 | 一种MO源瓶，包括盛放固态MO源的第一容器、盛放液态物质的第二容器，所述第一容器放置于所述第二容器内，共用一个封面，其特征在于：所述MO源瓶还包括称量第一容器重量的质量测量装置、产生超声波的起振装置、以及调控所述质量测量装置、起振装置的控制装置；所述质量测量装置置于所述第二容器底部，所述第一容器置于所述质量测量装置上；所述起振装置置于所述第二容器的液态物质内。本实用新型通过质量测量装置测量MO源消耗量，控制装置通过MO源消耗量调控起振装置起振，从而改善固态MO源在使用过程中产生的“沟流或扬起现象”。 | ||
| 申请公布号 | CN204529977U | 申请公布日期 | 2015.08.05 |
| 申请号 | CN201520195230.8 | 申请日期 | 2015.04.02 |
| 申请人 | 安徽三安光电有限公司 | 发明人 | 周圣伟;郭晃亨;张家宏;林兓兓 |
| 分类号 | C23C16/448(2006.01)I;C23C16/18(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/448(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种MO源瓶，包括盛放固态MO源的第一容器、盛放液态物质的第二容器，所述第一容器放置于所述第二容器内，共用一个封面，其特征在于：所述MO源瓶还包括称量第一容器重量的质量测量装置、产生超声波的起振装置、以及调控所述质量测量装置、起振装置的控制装置；所述质量测量装置置于所述第二容器底部，所述第一容器置于所述质量测量装置上；所述起振装置置于所述第二容器的液态物质内。 | ||
| 地址 | 241000 安徽省芜湖市经济技术开发区东梁路8号 | ||