| 摘要 |
<p>대기압 공간과 감압 공간을 분리하기 위한 박막 주변부의 구성을 최적화함으로써, 시료(6)를 대기 분위기 또는 가스 분위기에서 관찰하는 것이 가능한 하전 입자선 장치를 제공한다. 제1 하우징(7)을 배기하는 진공 배기 펌프(4)와, 제1 하우징(7) 내에서, 조사에 의해 얻어지는 하전 입자선을 검출하는 검출기(3)와, 적어도 제1 하우징(7) 또는 제2 하우징(8)의 어느 일부이거나, 또는 별체로서 구성되고, 제1 하우징(7) 내와 제2 하우징(8) 내와의 사이의 적어도 일부를 이격하는 격벽부와, 격벽부에 설치되고, 하전 입자 조사부측의 개구 면적이 시료(6)측의 개구 면적보다도 큰 개구부(10a)와, 개구부(10a)의 시료(6)측을 덮고, 1차 하전 입자선 및 하전 입자선을 투과 또는 통과시키는 박막(13)을 구비하는 하전 입자선 장치를 제공한다.</p> |
