PELLICLE FOR LITHOGRAPHY

摘要

(해결수단) 펠리클 프레임의 일단면에 펠리클막 접착제를 개재하여 펠리클막을 펼쳐 설치하고, 타단면에 노광 원판 접착용 점착제를 설치한 리소그래피용 펠리클로서, 상기 펠리클 프레임의 펠리클막 접착면 및 노광 원판 접착면과 프레임 내외측면이 형성하는 모서리부에 C 모따기가 실시되어 있고, 노광 원판 접착면에서의 모따기 치수를 C 0.35 보다 크고 C 0.55 이하로 한 것을 특징으로 하는 리소그래피용 펠리클.