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<p>본 발명은, 배선 간의 구리 이온의 마이그레이션을 억제하여, 배선 간의 절연 신뢰성을 향상시키는 마이그레이션 억제층을 형성하기 위한 마이그레이션 억제층 형성용 처리액을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명의 마이그레이션 억제층 형성용 처리액은, 구리 배선 또는 구리 합금 배선에 있어서의 이온 마이그레이션을 억제하는 마이그레이션 억제층을 형성하기 위한 처리액이며, 아졸 화합물과 물을 함유하고, 용존 산소량이 7.0 ppm 이하이다.</p> |
