| 摘要 |
<p>본 발명은 아크 증착을 이용하는 기체상 증착에 기초한 코팅 방법에 관한 것으로서, 코팅을 위한 재료 공급원으로서 제1 타겟을 선택하는 단계와, 적어도 선택된 타겟을 포함하는 아크 증착 공급원을 구비한 코팅 챔버를 제공하는 단계와, 코팅 챔버에 코팅할 기판들을 적재하는 단계와, 아크 증착을 위해 적합한 공정 압력으로 코팅 챔버를 펌핑-다운하는 단계와, 아크를 점화 및 작동시킴으로써, 제1 타겟으로부터 재료를 증발시키는 단계로서, 경우에 따라 코팅 챔버 내로 유입된 반응 기체와 반응한 이후에 상기 재료가 코팅할 기판에 침전되는 단계를 포함한다. 이때, 제1 타겟은 하나 이상의 매트릭스 성분 및 도핑 성분을 포함하는데, 상기 도핑 성분은 매트릭스 성분 보다 적어도 500℃ 만큼 더 낮은 용융점을 갖고 도핑 성분의 용융된 드롭이 매트릭스 성분의 고체 표면에서 90° 이상의 접촉각을 이룬다.</p> |
