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<p>본 발명의 일 실시 형태에 따르면, MEMS 스위치(10, 30, 40)가 제공된다. MEMS 스위치(10, 30, 40)는 기판(12), 서로 전기적으로 결합된 제 1 작동 요소(21, 41) 및 제 2 작동 요소(22, 42), 기판(12)에 기계적으로 결합되며 제 1 작동 요소(21, 41) 및 제 2 작동 요소(22, 42) 중 적어도 하나를 지지하는 고정부(18), 및 제 1 작동 요소(21, 41) 및 제 2 작동 요소(22, 42)를 작동시키도록 구성된 게이트 구동기(6)를 포함한다.</p> |
